- 08/12/2020 09:14:00 PM
- Đã xem: 94
- Phản hồi: 0
Loại electron trong kính hiển vi điện tử quét SEM
Trong kính hiển vi điện tử quét SEM, hai loại electron chủ yếu được phát hiện:
-
Các điện tử tán xạ ngược (BSE)
-
Điện tử thứ cấp (SE)
Các điện tử bị tán xạ ngược bị phản xạ trở lại sau tương tác đàn hồi giữa chùm tia và mẫu. Các điện tử thứ cấp, tuy nhiên, bắt nguồn từ các nguyên tử của mẫu. Chúng là kết quả của tương tác không đàn hồi giữa chùm điện tử và mẫu.
BSE đến từ các vùng sâu hơn của mẫu, trong khi SE bắt nguồn từ các vùng bề mặt. Do đó, BSE và SE mang các loại thông tin khác nhau. Hình ảnh BSE cho thấy độ nhạy cao đối với sự khác biệt về số nguyên tử; số nguyên tử càng cao, vật liệu xuất hiện trong ảnh càng sáng. Hình ảnh SE có thể cung cấp thông tin bề mặt chi tiết hơn.