Nguyên lý hoạt động của kính hiển vi điện tử quét (SEM)
Kính hiển vi điện tử quét (SEM) sử dụng chùm điện tử năng lượng cao hội tụ để tạo ra nhiều loại tín hiệu trên bề mặt của mẫu vật rắn. Các tín hiệu xuất phát từ các tương tác điện tử-mẫu tiết lộ thông tin về mẫu bao gồm hình thái bên ngoài (kết......