Thông số kỹ thuật
Là sản phẩm của hãng EMCRAFTS – Hàn Quốc do Vinaquips JSC phân phối tại Việt Nam
| Model | Genesis-2020 |
I. Điện tử | |
| Độ phân giải | 3.0nm (SE Image) |
| S.ú.ng điện tử | Sử dụng tóc Tungsten Filament được định tâm trước |
| Điện áp tăng tốc | 200V ~ 30kV |
| Độ phóng đại | x10 ~ x300,000 |
| Bộ phát hiện | SE Detector (ET-type) |
II. Bàn mẫu | |
| Hệ thống bàn mẫu | 5-axis Motorized – X : 90mm | – Y : 60mm | – Z : 5 ~ 60mm | – T : -20° ~ 90° | – R : 360° |
| Khoảng làm việc | 5 ~ 60mm |
| Kích thước mẫu tối đa | 150mm(D) X 60mm(H) |
III. Hình ảnh | |
| Máy tính vận hành | Windows11 -based All-in-One 24” Workstation |
| Chế độ hiển thị | Chế độ lấy nét : 320 × 240 pixel, Có thể thay đổi kích thước Chế độ xem trước: 800 × 600 Chế độ chậm : Áp dụng cho cả chế độ xem trước và lấy nét Chế độ ảnh : Lên đến 3200 × 2400 |
| Định dạng ảnh | BMP, JPEG, PNG, TIFF |
| Dịch chuyển chùm tia | 100μm |
| Chức năng tự động | Độ sáng & Độ tương phản tự động | Tự Động Lấy Nét | Canh Súng Tự Động | Độ bão hòa tự động | Dây Tóc Tự Động | Thiên kiến |
IV. Chân không | |
| Thời gian tải mẫu | Chân không: 3 min, Vent : 30sec |
| Chế độ chân không | Duy nhất chế độ chân không cao (<9×10-3Pa) |
| Hệ thống chân không | Hệ thống khuếch tán hoàn toàn tự động – Bơm phân tử Turbo (Sẵn sàng hút chân không trong vòng 3 phút) – Bơm cánh gạt quay – Hệ thống van điện |
V. Kích thước và nguồn điện | |
| SEM | 600(W) X 623(D) X 1350(H)mm / 180kg |
| Nguồn cung cấp | Single Phase : 100 ~ 240VAC, 50 / 60Hz, 1kVA |
Ⅵ. Thiết bị tùy chọn | |
| E.D.S (Oxford, Bruker, ED.AX, Thermo compatible) l E.B.SD l WDS l CL l Chamber Camera l La.B6/Ce.B6 Upgrade l 3D Imaging l R.a.man Spectroscopy l E-beam Lit.h.ography | |












